活性炭的預(yù)處理對(duì)低溫泵工作性能的影響

　　低溫泵是利用低溫吸附而達(dá)到獲取真空的裝置。與其他真空獲取設(shè)備相比，其具有無油、低振動(dòng)等優(yōu)勢。活性炭是低溫泵常用的一種吸附劑，其對(duì)低溫泵的工作性能起著關(guān)鍵性的作用。根據(jù)真空度的需求，一般要求低溫泵對(duì)氫的抽速較大。這就需要適合于氫的吸附的活性炭。椰殼活性炭的孔隙大小對(duì)氫的吸附比較適合。本文首先對(duì)活性炭進(jìn)行了預(yù)處理，用掃描電子顯微鏡和低溫吸附儀對(duì)其結(jié)構(gòu)和吸附性能進(jìn)行了表征，并將其用于低溫泵的吸附鎮(zhèn)，發(fā)現(xiàn)安裝了經(jīng)過處理活性炭的低溫泵其抽氣速率和極限真空都有一定的提高。

　　低溫泵在半導(dǎo)體、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。隨著真空技術(shù)的發(fā)展，世界范圍內(nèi)對(duì)真空的需求也越來越廣泛，特別是無油的潔凈真空。與其它真空獲得產(chǎn)品相比，低溫泵具有無油低振動(dòng)等顯著優(yōu)勢，是獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率zui大的真空泵，另外低溫泵在抽除水蒸汽等低蒸汽壓物質(zhì)具有更強(qiáng)的能力。因此，在真空應(yīng)用領(lǐng)域低溫泵具有比其他真空獲得設(shè)備更為明顯的優(yōu)勢。

　　低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝

　　結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。其中低溫吸附對(duì)低溫泵的工作性能有著決定性的作用。

　　因此，如何提高吸附劑的吸附性能成為低溫泵研制過程中重要的環(huán)節(jié)。一般情況下低溫泵所使用的吸附劑是活性炭，根據(jù)所要抽速氣體分子的大小不同選擇不同類型的活性炭[1]。一般從市場上買來的活性炭由于在生產(chǎn)、運(yùn)輸、存儲(chǔ)過程中會(huì)有部分孔發(fā)生堵塞，因此需要對(duì)活性炭進(jìn)行擴(kuò)孔、去灰等預(yù)處理。